中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
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中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司的商标信息
序号 注册号 商标 商标名 申请时间 商品服务列表 内容
1 3450928 SKY 2003-01-29 真空泵;阀(机器零件);放气阀;电子工业设备 查看详情
2 3450927 SKY 2003-01-29 精密测量仪器;真空计;真空喷镀机械;物理学设备和仪器;教学仪器;实验室用炉;光学器械和仪器 查看详情
3 3514801 SKY 2003-04-07 真空泵;阀(机器零件);放气阀;电子工业设备 查看详情
中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司的专利信息
序号 公布号 发明名称 公布日期 摘要
1 CN301143436D 屏蔽罩 2010.02.24
2 CN103104439B 一种用于多级干式真空泵的气路分配系统 2016.02.10 本发明属于真空泵领域,具体地说是一种用于多级干式真空泵的气路分配系统,包括集成模块、孔板、销及压力传
3 CN201200981Y 一种多级干式真空泵的清洗装置 2009.03.04 本实用新型涉及真空泵清洗技术,具体地说是一种多级干式真空泵的清洗装置,包括减压阀、质量流量控制器、电
4 CN101178371B 反射式高能电子衍射仪用电子枪电源 2010.05.12 本发明公开一种反射式高能电子衍射仪用电子枪电源,其中高压电源为-25kv,由高压部分、低压调整两部分
5 CN301020676D 电源前面板(一) 2009.09.23 本外观设计产品为平面产品,后视图无设计要点,因此省略后视图。
6 CN301020677D 电源前面板(三) 2009.09.23 本外观设计产品为平面产品,后视图无设计要点,因此省略后视图。
7 CN201315030Y 真空系统恒压恒流调节器 2009.09.23 本实用新型涉及一种真空系统恒压恒流调节器,包括真空检测单元,采集真空系统的真空度;智能控制单元,接收
8 CN103103622B 一种可长期在单晶炉设备的高温环境下工作的水冷套 2015.10.21 本发明属于真空设备领域,具体地说是一种可长期在单晶炉设备的高温环境下工作的水冷套,该水冷套为内、外双
9 CN103104489B 一种罗茨真空泵 2015.06.03 本发明涉及真空泵技术领域,具体的说是一种罗茨真空泵。包括电机、前后轴承腔体、罗茨腔体及齿轮腔体,其中
10 CN103103500B 一种用于PECVD多点进气多区可调装置 2015.05.13 本发明属于涉及微电子技术领域,特别涉及一种用于PECVD带有可以提高大面积镀膜均匀性的多点进气多区可
11 CN103104437B 一种真空泵密封结构 2015.04.01 本发明涉及真空泵领域,具体说是一种真空泵密封结构。包括依次贯穿油腔、轴承腔及泵腔的轴、双唇轴封、过滤
12 CN103103495B 一种全自动下传输系统 2015.01.14 本发明属于PECVD的传输系统领域,具体地说是一种全自动下传输系统。包括装载台、升降传输、下传输系统
13 CN102654116B 一种真空泵用预抽装置 2014.12.10 本发明涉及真空泵机组装置,具体地说是一种真空泵用预抽装置,该预抽装置安装在真空泵端部轴承腔内,包括倒
14 CN102278295B 一种真空泵用排气口 2014.12.03 本发明公开一种真空泵用排气口结构,包括入口法兰、出口法兰,其特征在于:还包括储尘腔、除尘球阀和弹簧逆
15 CN102654117B 一种真空泵用排气装置 2014.10.22 本发明涉及真空泵设备,具体地说是一种真空泵用排气装置,包括外罩、排气管、传输管及进气法兰,其中排气管
16 CN102478420B 用于籽晶传动装置的称重机构 2013.08.21 一种用于籽晶传动装置的称重机构,属于真空设备技术领域。包括外框、称重传感器、调节支座和膨胀节组件,所
17 CN103103485A 一种带有单冷却自转盘的磁控溅射系统 2013.05.15 本发明涉及镀膜设备,具体地说是一种带有单冷却自转盘的磁控溅射系统,包括磁控室、单冷却自转盘、第一电机
18 CN103103603A 一种可长期在真空设备的高温环境下工作的水冷轴 2013.05.15 本发明属于真空设备领域,具体地说是一种可长期在真空设备的高温环境下工作的水冷轴,包括轴端、导水管、长
19 CN103104493A 一种用于无油干式真空泵双驱动主轴控制系统 2013.05.15 本发明公开一种用于无油干式真空泵双驱动主轴控制系统,它包括双轴无油真空泵机械部分,还增设电动机控制部
20 CN103104489A 一种罗茨真空泵 2013.05.15 本发明涉及真空泵技术领域,具体的说是一种罗茨真空泵。包括电机、前后轴承腔体、罗茨腔体及齿轮腔体,其中
21 CN103105826A 一种真空设备运动定位控制系统及控制方法 2013.05.15 本发明公开一种真空设备运动定位控制系统及控制方法,该真空设备运动定位控制系统包括PLC、工控机、现场
22 CN103104437A 一种真空泵密封结构 2013.05.15 本发明涉及真空泵领域,具体说是一种真空泵密封结构。包括依次贯穿油腔、轴承腔及泵腔的轴、双唇轴封、过滤
23 CN103103495A 一种全自动下传输系统 2013.05.15 本发明属于PECVD的传输系统领域,具体地说是一种全自动下传输系统。包括装载台、升降传输、下传输系统
24 CN103103483A 一种带有基片水冷加热公转台的磁控溅射系统 2013.05.15 本发明涉及镀膜设备,具体地说是一种带有基片水冷加热公转台的磁控溅射系统,磁控室安装在机台架上、与位于
25 CN103103622A 一种可长期在真空设备的高温环境下工作的水冷套 2013.05.15 本发明属于真空设备领域,具体地说是一种可长期在真空设备的高温环境下工作的水冷套,该水冷套为内、外双层
26 CN103107647A 一种干式真空泵用电机 2013.05.15 本发明属于真空泵领域,具体地说是一种干式真空泵用电机,包括电机外壳、定子及转子,其中电机外壳内设有带
27 CN103103500A 一种用于PECVD多点进气多区可调装置 2013.05.15 本发明属于涉及微电子技术领域,特别涉及一种用于PECVD带有可以提高大面积镀膜均匀性的多点进气多区可
28 CN103104490A 一种磁力驱动螺杆真空泵 2013.05.15 本发明涉及真空领域的真空泵,具体地说是一种磁力驱动螺杆真空泵,包括腔体、主动转子、从动转子、传动齿轮
29 CN103103499A 一种大型板式PECVD设备真空腔室的迷宫进气装置 2013.05.15 本发明涉及进气装置,具体地说是一种大型板式PECVD设备真空腔室的迷宫进气装置,安装在真空腔室上,包
30 CN103103486A 一种磁控溅射系统 2013.05.15 本发明涉及镀膜设备,具体地说是一种磁控溅射系统,包括磁控室、基片转台、基片转台驱动电机、传动机构、磁
31 CN103104439A 一种用于多级干式真空泵的气路分配系统 2013.05.15 本发明属于真空泵领域,具体地说是一种用于多级干式真空泵的气路分配系统,包括集成模块、孔板、销及压力传
32 CN103100576A 一种抽拉非晶丝的水冷辊轮装置 2013.05.15 本发明涉及用于高真空熔体抽拉非晶丝制备装置,具体地说是一种抽拉非晶丝的水冷辊轮装置,包括磁流体、真空
33 CN103103491A 一种真空镀膜设备的PLC虚拟设备控制系统及控制方法 2013.05.15 本发明公开一种真空镀膜设备的PLC虚拟设备控制系统及控制方法,本发明主要解决更改设备需要重新设计控制
34 CN103107207A 一种提高晶体硅太阳能电池转换效率的多层膜结构 2013.05.15 本发明涉及一种多层膜结构,特别涉及一种可以提高晶体硅太阳能电池转换效率的多层膜结构。所述多层膜为至少
35 CN103103484A 一种带有单加热自转盘的磁控溅射系统 2013.05.15 本发明涉及镀膜设备,具体地说是一种带有单加热自转盘的磁控溅射系统,包括磁控室、单加热自转盘、第一电机
36 CN103104491A 一种罗茨和爪式转子组合多级干式真空泵 2013.05.15 本发明涉及真空泵技术领域,具体的说是一种罗茨和爪式转子组合的多级干式真空泵。该泵由变频电机、主从动轴
37 CN103104498A 一种涡旋真空泵排气口结构 2013.05.15 本发明属于真空泵领域,具体地说是一种涡旋真空泵排气口结构,包括排气适配器、阀挡、弹簧及橡胶阀芯,其中
38 CN103104496A 一种真空泵水冷结构 2013.05.15 本发明属于真空泵技术领域,具体地说是一种真空泵水冷结构,包括依次相连的进气腔体、多级腔体及排气腔体,
39 CN102903785A 一种采用增氢钝化提高太阳能电池片转换效率的方法 2013.01.30 本发明涉及晶体硅太阳能的制造,具体的说是一种采用增氢钝化提高太阳能电池片转换效率的方法。通过微波在太
40 CN102108490B 一种磁控溅射靶 2012.10.03 本发明涉及镀膜设备,具体地说是一种磁控溅射靶,包括靶头、折弯波纹管组件、靶支杆、靶支座、手动螺旋升降
41 CN102654117A 一种真空泵用排气装置 2012.09.05 本发明涉及真空泵设备,具体地说是一种真空泵用排气装置,包括外罩、排气管、传输管及进气法兰,其中排气管
42 CN102654116A 一种真空泵用预抽装置 2012.09.05 本发明涉及真空泵机组装置,具体地说是一种真空泵用预抽装置,该预抽装置安装在真空泵端部轴承腔内,包括倒
43 CN102654127A 一种真空泵用轴封结构 2012.09.05 本发明涉及真空泵机组装置,具体地说是一种真空泵用轴封结构,包括轴承油封外环、油封、油封罩、油封外套及
44 CN101988487B 真空试验仪器自动泵抽系统及其控制方法 2012.08.29 本发明涉及一种真空试验仪器自动泵抽系统及其控制方法,系统包括PLC,其输入端接收现场传感器信号,与工
45 CN202391738U 一种罗茨真空泵 2012.08.22 本实用新型涉及真空泵技术领域,具体的说是一种罗茨真空泵。包括电机、前后轴承腔体、罗茨腔体及齿轮腔体,
46 CN202373592U 提高晶体硅太阳能电池转换效率的多层膜结构 2012.08.08 本实用新型涉及一种多层膜结构,特别涉及一种可以提高晶体硅太阳能电池转换效率的多层膜结构。所述多层膜为
47 CN202323013U 一种双向磁场增强装置 2012.07.11 本实用新型涉及提高PECVD设备的磁场,具体地说是一种可以提高原料利用率和提高膜层沉积速度,进而提高
48 CN202326256U 一种真空泵水冷结构 2012.07.11 本实用新型属于真空泵技术领域,具体地说是一种真空泵水冷结构,包括依次相连的进气腔体、多级腔体及排气腔
49 CN202326261U 涡旋真空泵排气口结构 2012.07.11 本实用新型属于真空泵领域,具体地说是一种涡旋真空泵排气口结构,包括排气适配器、阀挡、弹簧及橡胶阀芯,
50 CN202316629U 抽拉非晶丝的水冷辊轮装置 2012.07.11 本实用新型涉及用于高真空熔体抽拉非晶丝制备装置,具体地说是一种抽拉非晶丝的水冷辊轮装置,包括磁流体、
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