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序号 | 公布号 | 发明名称 | 公布日期 | 摘要 |
1 | CN301143436D | 屏蔽罩 | 2010.02.24 | |
2 | CN103104439B | 一种用于多级干式真空泵的气路分配系统 | 2016.02.10 | 本发明属于真空泵领域,具体地说是一种用于多级干式真空泵的气路分配系统,包括集成模块、孔板、销及压力传 |
3 | CN201200981Y | 一种多级干式真空泵的清洗装置 | 2009.03.04 | 本实用新型涉及真空泵清洗技术,具体地说是一种多级干式真空泵的清洗装置,包括减压阀、质量流量控制器、电 |
4 | CN101178371B | 反射式高能电子衍射仪用电子枪电源 | 2010.05.12 | 本发明公开一种反射式高能电子衍射仪用电子枪电源,其中高压电源为-25kv,由高压部分、低压调整两部分 |
5 | CN301020676D | 电源前面板(一) | 2009.09.23 | 本外观设计产品为平面产品,后视图无设计要点,因此省略后视图。 |
6 | CN301020677D | 电源前面板(三) | 2009.09.23 | 本外观设计产品为平面产品,后视图无设计要点,因此省略后视图。 |
7 | CN201315030Y | 真空系统恒压恒流调节器 | 2009.09.23 | 本实用新型涉及一种真空系统恒压恒流调节器,包括真空检测单元,采集真空系统的真空度;智能控制单元,接收 |
8 | CN103103622B | 一种可长期在单晶炉设备的高温环境下工作的水冷套 | 2015.10.21 | 本发明属于真空设备领域,具体地说是一种可长期在单晶炉设备的高温环境下工作的水冷套,该水冷套为内、外双 |
9 | CN103104489B | 一种罗茨真空泵 | 2015.06.03 | 本发明涉及真空泵技术领域,具体的说是一种罗茨真空泵。包括电机、前后轴承腔体、罗茨腔体及齿轮腔体,其中 |
10 | CN103103500B | 一种用于PECVD多点进气多区可调装置 | 2015.05.13 | 本发明属于涉及微电子技术领域,特别涉及一种用于PECVD带有可以提高大面积镀膜均匀性的多点进气多区可 |
11 | CN103104437B | 一种真空泵密封结构 | 2015.04.01 | 本发明涉及真空泵领域,具体说是一种真空泵密封结构。包括依次贯穿油腔、轴承腔及泵腔的轴、双唇轴封、过滤 |
12 | CN103103495B | 一种全自动下传输系统 | 2015.01.14 | 本发明属于PECVD的传输系统领域,具体地说是一种全自动下传输系统。包括装载台、升降传输、下传输系统 |
13 | CN102654116B | 一种真空泵用预抽装置 | 2014.12.10 | 本发明涉及真空泵机组装置,具体地说是一种真空泵用预抽装置,该预抽装置安装在真空泵端部轴承腔内,包括倒 |
14 | CN102278295B | 一种真空泵用排气口 | 2014.12.03 | 本发明公开一种真空泵用排气口结构,包括入口法兰、出口法兰,其特征在于:还包括储尘腔、除尘球阀和弹簧逆 |
15 | CN102654117B | 一种真空泵用排气装置 | 2014.10.22 | 本发明涉及真空泵设备,具体地说是一种真空泵用排气装置,包括外罩、排气管、传输管及进气法兰,其中排气管 |
16 | CN102478420B | 用于籽晶传动装置的称重机构 | 2013.08.21 | 一种用于籽晶传动装置的称重机构,属于真空设备技术领域。包括外框、称重传感器、调节支座和膨胀节组件,所 |
17 | CN103103485A | 一种带有单冷却自转盘的磁控溅射系统 | 2013.05.15 | 本发明涉及镀膜设备,具体地说是一种带有单冷却自转盘的磁控溅射系统,包括磁控室、单冷却自转盘、第一电机 |
18 | CN103103603A | 一种可长期在真空设备的高温环境下工作的水冷轴 | 2013.05.15 | 本发明属于真空设备领域,具体地说是一种可长期在真空设备的高温环境下工作的水冷轴,包括轴端、导水管、长 |
19 | CN103104493A | 一种用于无油干式真空泵双驱动主轴控制系统 | 2013.05.15 | 本发明公开一种用于无油干式真空泵双驱动主轴控制系统,它包括双轴无油真空泵机械部分,还增设电动机控制部 |
20 | CN103104489A | 一种罗茨真空泵 | 2013.05.15 | 本发明涉及真空泵技术领域,具体的说是一种罗茨真空泵。包括电机、前后轴承腔体、罗茨腔体及齿轮腔体,其中 |
21 | CN103105826A | 一种真空设备运动定位控制系统及控制方法 | 2013.05.15 | 本发明公开一种真空设备运动定位控制系统及控制方法,该真空设备运动定位控制系统包括PLC、工控机、现场 |
22 | CN103104437A | 一种真空泵密封结构 | 2013.05.15 | 本发明涉及真空泵领域,具体说是一种真空泵密封结构。包括依次贯穿油腔、轴承腔及泵腔的轴、双唇轴封、过滤 |
23 | CN103103495A | 一种全自动下传输系统 | 2013.05.15 | 本发明属于PECVD的传输系统领域,具体地说是一种全自动下传输系统。包括装载台、升降传输、下传输系统 |
24 | CN103103483A | 一种带有基片水冷加热公转台的磁控溅射系统 | 2013.05.15 | 本发明涉及镀膜设备,具体地说是一种带有基片水冷加热公转台的磁控溅射系统,磁控室安装在机台架上、与位于 |
25 | CN103103622A | 一种可长期在真空设备的高温环境下工作的水冷套 | 2013.05.15 | 本发明属于真空设备领域,具体地说是一种可长期在真空设备的高温环境下工作的水冷套,该水冷套为内、外双层 |
26 | CN103107647A | 一种干式真空泵用电机 | 2013.05.15 | 本发明属于真空泵领域,具体地说是一种干式真空泵用电机,包括电机外壳、定子及转子,其中电机外壳内设有带 |
27 | CN103103500A | 一种用于PECVD多点进气多区可调装置 | 2013.05.15 | 本发明属于涉及微电子技术领域,特别涉及一种用于PECVD带有可以提高大面积镀膜均匀性的多点进气多区可 |
28 | CN103104490A | 一种磁力驱动螺杆真空泵 | 2013.05.15 | 本发明涉及真空领域的真空泵,具体地说是一种磁力驱动螺杆真空泵,包括腔体、主动转子、从动转子、传动齿轮 |
29 | CN103103499A | 一种大型板式PECVD设备真空腔室的迷宫进气装置 | 2013.05.15 | 本发明涉及进气装置,具体地说是一种大型板式PECVD设备真空腔室的迷宫进气装置,安装在真空腔室上,包 |
30 | CN103103486A | 一种磁控溅射系统 | 2013.05.15 | 本发明涉及镀膜设备,具体地说是一种磁控溅射系统,包括磁控室、基片转台、基片转台驱动电机、传动机构、磁 |
31 | CN103104439A | 一种用于多级干式真空泵的气路分配系统 | 2013.05.15 | 本发明属于真空泵领域,具体地说是一种用于多级干式真空泵的气路分配系统,包括集成模块、孔板、销及压力传 |
32 | CN103100576A | 一种抽拉非晶丝的水冷辊轮装置 | 2013.05.15 | 本发明涉及用于高真空熔体抽拉非晶丝制备装置,具体地说是一种抽拉非晶丝的水冷辊轮装置,包括磁流体、真空 |
33 | CN103103491A | 一种真空镀膜设备的PLC虚拟设备控制系统及控制方法 | 2013.05.15 | 本发明公开一种真空镀膜设备的PLC虚拟设备控制系统及控制方法,本发明主要解决更改设备需要重新设计控制 |
34 | CN103107207A | 一种提高晶体硅太阳能电池转换效率的多层膜结构 | 2013.05.15 | 本发明涉及一种多层膜结构,特别涉及一种可以提高晶体硅太阳能电池转换效率的多层膜结构。所述多层膜为至少 |
35 | CN103103484A | 一种带有单加热自转盘的磁控溅射系统 | 2013.05.15 | 本发明涉及镀膜设备,具体地说是一种带有单加热自转盘的磁控溅射系统,包括磁控室、单加热自转盘、第一电机 |
36 | CN103104491A | 一种罗茨和爪式转子组合多级干式真空泵 | 2013.05.15 | 本发明涉及真空泵技术领域,具体的说是一种罗茨和爪式转子组合的多级干式真空泵。该泵由变频电机、主从动轴 |
37 | CN103104498A | 一种涡旋真空泵排气口结构 | 2013.05.15 | 本发明属于真空泵领域,具体地说是一种涡旋真空泵排气口结构,包括排气适配器、阀挡、弹簧及橡胶阀芯,其中 |
38 | CN103104496A | 一种真空泵水冷结构 | 2013.05.15 | 本发明属于真空泵技术领域,具体地说是一种真空泵水冷结构,包括依次相连的进气腔体、多级腔体及排气腔体, |
39 | CN102903785A | 一种采用增氢钝化提高太阳能电池片转换效率的方法 | 2013.01.30 | 本发明涉及晶体硅太阳能的制造,具体的说是一种采用增氢钝化提高太阳能电池片转换效率的方法。通过微波在太 |
40 | CN102108490B | 一种磁控溅射靶 | 2012.10.03 | 本发明涉及镀膜设备,具体地说是一种磁控溅射靶,包括靶头、折弯波纹管组件、靶支杆、靶支座、手动螺旋升降 |
41 | CN102654117A | 一种真空泵用排气装置 | 2012.09.05 | 本发明涉及真空泵设备,具体地说是一种真空泵用排气装置,包括外罩、排气管、传输管及进气法兰,其中排气管 |
42 | CN102654116A | 一种真空泵用预抽装置 | 2012.09.05 | 本发明涉及真空泵机组装置,具体地说是一种真空泵用预抽装置,该预抽装置安装在真空泵端部轴承腔内,包括倒 |
43 | CN102654127A | 一种真空泵用轴封结构 | 2012.09.05 | 本发明涉及真空泵机组装置,具体地说是一种真空泵用轴封结构,包括轴承油封外环、油封、油封罩、油封外套及 |
44 | CN101988487B | 真空试验仪器自动泵抽系统及其控制方法 | 2012.08.29 | 本发明涉及一种真空试验仪器自动泵抽系统及其控制方法,系统包括PLC,其输入端接收现场传感器信号,与工 |
45 | CN202391738U | 一种罗茨真空泵 | 2012.08.22 | 本实用新型涉及真空泵技术领域,具体的说是一种罗茨真空泵。包括电机、前后轴承腔体、罗茨腔体及齿轮腔体, |
46 | CN202373592U | 提高晶体硅太阳能电池转换效率的多层膜结构 | 2012.08.08 | 本实用新型涉及一种多层膜结构,特别涉及一种可以提高晶体硅太阳能电池转换效率的多层膜结构。所述多层膜为 |
47 | CN202323013U | 一种双向磁场增强装置 | 2012.07.11 | 本实用新型涉及提高PECVD设备的磁场,具体地说是一种可以提高原料利用率和提高膜层沉积速度,进而提高 |
48 | CN202326256U | 一种真空泵水冷结构 | 2012.07.11 | 本实用新型属于真空泵技术领域,具体地说是一种真空泵水冷结构,包括依次相连的进气腔体、多级腔体及排气腔 |
49 | CN202326261U | 涡旋真空泵排气口结构 | 2012.07.11 | 本实用新型属于真空泵领域,具体地说是一种涡旋真空泵排气口结构,包括排气适配器、阀挡、弹簧及橡胶阀芯, |
50 | CN202316629U | 抽拉非晶丝的水冷辊轮装置 | 2012.07.11 | 本实用新型涉及用于高真空熔体抽拉非晶丝制备装置,具体地说是一种抽拉非晶丝的水冷辊轮装置,包括磁流体、 |
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